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用于反射薄膜生產(chǎn)等的自動(dòng)濺射儀SC-701AT介紹

  • 發(fā)布日期:2024-12-24      瀏覽次數(shù):114
    • 用于反射薄膜生產(chǎn)等的自動(dòng)濺射儀SC-701AT介紹

      只需設(shè)置樣品并等待即可。全自動(dòng)濺射,膜厚可調(diào)。

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       離子濺射是將靶材、樣品均置于真空室中;首先進(jìn)行抽真空,實(shí)現(xiàn)輝光放電所需的低氣壓環(huán)境;靶材接高壓,為負(fù)極;樣品臺(tái)接地,為正極;靶材與樣品臺(tái)之間形成高壓電場(chǎng),電離氣體;氣體電離后,正離子飛向負(fù)極,轟擊靶材,靶材原子被濺射飛出,沉積到樣品上形成導(dǎo)電膜。

      特征

      • 從排氣→鍍膜(蝕刻)→大氣釋放全自動(dòng)

      • 雖然是緊湊型,但可以控制膜厚(簡(jiǎn)易型)。

      • 全自動(dòng)濺射設(shè)備,操作簡(jiǎn)單,重現(xiàn)性高

      • 配備鍍膜/蝕刻模式

      用途和結(jié)果示例

      • 將電極膜粘貼到各種設(shè)備上

      • 用于反射薄膜生產(chǎn)等。

      基本規(guī)格

      陰極φ2 英寸/2 極對(duì)置電極
      濺射靶材單獨(dú)出售 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd
      蝕刻目標(biāo)包括 Al 目標(biāo)
      膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方式/帶數(shù)顯膜厚監(jiān)測(cè)儀
      氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)針閥
      真空泵直連旋轉(zhuǎn)泵:20l/min(帶自動(dòng)泄漏)
      排氣操作自動(dòng)的
      腔室尺寸內(nèi)徑 φ120mm x D120mm(SUS材質(zhì))
      樣品交換方式前門開(kāi)閉方式
      尺寸(寬/深/高)機(jī)身:225/420/320mm
      RP:300/160/200mm
      重量本體:15kg
      RP:9kg


    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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